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在晶圓制造過程中，刻蝕工藝是至關(guān)重要的，它不僅影響芯片的功能，還決定了工藝的精度和生產(chǎn)效率。LAM Research（簡稱LAM）是刻蝕機領域的領先廠商之一，尤其在干法刻蝕方面具有很強的競爭力。LAM的刻蝕機臺通常采用等離子體刻蝕技術(shù)，其特點是高效的刻蝕速率和良好的工藝控制能力。

老虎說芯

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12/14 10:25

刻蝕設備刻蝕機

越制裁，越強大！重要性比肩光刻機的刻蝕設備——北方華創(chuàng)

美日荷相繼加大對華半導體設備出口限制，國產(chǎn)替代迫在眉睫。盡管中國是全球最大半導體消費市場，但本土化缺口明顯，2023 年芯片自產(chǎn)率僅 20%、半導體設備國產(chǎn)化率為 35%、高端刻蝕機等關(guān)鍵領域國產(chǎn)化率不足 10%。隨著國產(chǎn)晶圓廠的逆勢擴張、海外制裁趨緊，本土半導體設備廠商有望擴大份額，預計2025年國產(chǎn)化率將達50%。前面文章我們分析了國產(chǎn)半導體設備龍頭之一的中微公司，今天我們繼續(xù)深入研究半導體

王兵

5206

11/26 12:10

與非研究院 NAND

2024 CSEAC：半導體設備國產(chǎn)化加速，競爭力在哪里？

尊重知識產(chǎn)權(quán)和打造差異化競爭優(yōu)勢是中國半導體產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的關(guān)鍵。當前，低價競爭導致的低毛利已成為行業(yè)發(fā)展的主要障礙，它削弱了設備企業(yè)的研發(fā)能力，阻礙了技術(shù)的迭代升級。半導體設備廠商需要維持40%-50%的毛利潤率，以確保持續(xù)的研發(fā)投入和技術(shù)創(chuàng)新。非法的設備翻新和抄襲行為不僅侵犯了知識產(chǎn)權(quán)，也不利于企業(yè)的長期發(fā)展。

夏珍

9857

10/15 11:00

半導體設備與非研究院

為什么高端刻蝕設備都選用遠程等離子體源（RPS）？

學員問：遠程等離子體源（RPS）是什么？有什么優(yōu)勢？許多高端，先進的刻蝕，清洗機臺都會配置遠程等離子體源（RPS）。如Applied Materials Centura，Lam Research Kiyo都會用到RPS。RPS的原理是什么？

TOM聊芯片智造

1.6萬

06/26 08:17

清洗機刻蝕設備

開發(fā)SiC材料深刻蝕設備，中锃半導體完成數(shù)千萬融資

2024年以來，SiC產(chǎn)業(yè)鏈投融資持續(xù)火熱，近期又有一家廠商受到資本市場青睞，開啟了融資大門。近日，中锃半導體（深圳）有限公司（以下簡稱中锃半導體）完成數(shù)千萬元人民幣天使輪融資。本輪融資由國科京東方、國核曜能、望眾投資等共同出資，將主要用于研發(fā)平臺搭建、原型設備和核心工藝開發(fā)等方面。

化合物半導體市場

1871

04/08 10:40

刻蝕設備 SiC材料

工業(yè)大盤點的風吹到了半導體設備

業(yè)界曾指出，半導體設備是“近幾年半導體產(chǎn)業(yè)中業(yè)績確定性最強的細分領域”，從廠商業(yè)績來看，上述定論似乎沒有改變，但2023年受到全球經(jīng)濟增速放緩以及局部地緣沖突等因素疊加影響下，增速有所放緩。從未來晶圓代工擴產(chǎn)、國產(chǎn)替代大背景等重要驅(qū)動因素看，把握發(fā)展機遇，國內(nèi)設備企業(yè)發(fā)展空間足夠大。

全球半導體觀察

3585

02/12 10:25

半導體產(chǎn)業(yè) 半導體設備

平臺的威力（2）：LAM產(chǎn)品線信息統(tǒng)計

之前，我發(fā)布了一個KLA公司的產(chǎn)品線信息統(tǒng)計，閱讀量和讀者反響都還不錯。受此鼓舞，我自然再接再厲，把其它幾家頭部企業(yè)的相關(guān)數(shù)據(jù)也放上來一并供大家參考這次，我整理和發(fā)布的是LAM Research公司的信息。提到LAM（泛林），大多數(shù)行業(yè)內(nèi)認識第一反應就是他們的刻蝕設備。確實，從下圖可見，LAM在半導體刻蝕設備方面（尤其是ICP刻蝕設備）確實獨領風騷

半導體綜研

1773

2023/09/12

泛林集團刻蝕設備

中微公司要怎樣抵御行業(yè)周期波動？

半導體設備行業(yè)屬于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的上游核心環(huán)節(jié)之一，有句行話講得好——一代設備，一代工藝，一代產(chǎn)品，設備行業(yè)要超前芯片制造整整一代的產(chǎn)品，因此作為半導體芯片制造的基石，半導體設備行業(yè)撐起了整個現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)，是半導體行業(yè)的核心和基礎。除了我們熟知的光刻機以外，行業(yè)還有其他諸多頗有技術(shù)含量的設備，如刻蝕機、離子注入設備、拋光機等等。今天，與非網(wǎng)將分析一家國產(chǎn)頭部半導體設備企業(yè)——中微公司，其發(fā)展速度一定程度上也代表著國產(chǎn)半導體設備行業(yè)的現(xiàn)狀。

顧子揚

652

2022/04/20

與非觀察半導體設備

泛林集團的選擇性刻蝕設備組合正在推進芯片行業(yè)下一個重要的技術(shù)拐點

在過去的十年里，對于體積更小、密度更高、性能更強大的芯片的需求一直在推動半導體制造商從平面結(jié)構(gòu)向越來越復雜的三維(3D)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型。原因很簡單，垂直堆疊可以實現(xiàn)更高的密度。

與非網(wǎng)編輯

408

2022/02/28

晶體管半導體制造

泛林集團推出開創(chuàng)性的選擇性刻蝕設備組合，以加速芯片制造商的 3D 路線圖

泛林集團 (NASDAQ: LRCX) 宣布推出一系列新的選擇性刻蝕產(chǎn)品，這些產(chǎn)品應用突破性的晶圓制造技術(shù)和創(chuàng)新的化學成分，以支持芯片制造商開發(fā)環(huán)柵 (GAA) 晶體管結(jié)構(gòu)。